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发明名称 METHOD OF ION-CLADDING DURING LAYER SPUTTERING
摘要
申请公布号 CS8902328(A1) 申请公布日期 1990.08.14
申请号 CS19890002328 申请日期 1989.04.14
申请人 MUNZ WOLF-DIETER DR.,DE;KADLEC STANISLAV RNDR.,CS;MUSIL JINDRICH ING. DRSC.,CS 发明人 MUNZ WOLF-DIETER DR.,DE;KADLEC STANISLAV RNDR.,CS;MUSIL JINDRICH ING. DRSC.,CS
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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