发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02201968(A) 申请公布日期 1990.08.10
申请号 JP19890020136 申请日期 1989.01.30
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 OKA SHINSUKE
分类号 G11C17/00;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 G11C17/00
代理机构 代理人
主权项
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