| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT FORMING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02202035(A) |
申请公布日期 |
1990.08.10 |
| 申请号 |
JP19890021040 |
申请日期 |
1989.01.31 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
YAMAMOTO AKIYASU;ISHII TADATOSHI |
| 分类号 |
H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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