发明名称 METHOD OF PRODUCING CONDUCTOR NETWORKS
摘要
申请公布号 EP0307596(A3) 申请公布日期 1990.08.08
申请号 EP19880112294 申请日期 1988.07.29
申请人 SCHERING AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND BERGKAMEN 发明人 TENBRINK, DETLEF
分类号 C23F1/00;G03F7/38;H01L21/48;H05K1/03;H05K3/00;H05K3/42;(IPC1-7):H01L21/70;H05K3/02;H05K3/10 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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