发明名称 Method of forming optical waveguide.
摘要 <p>The present invention relates to an optical wave guide formed by implanting at least two ionic species capable of forming an oxide, a nitride or a halide into the surface of a substrate (1).</p>
申请公布号 EP0380138(A2) 申请公布日期 1990.08.01
申请号 EP19900101626 申请日期 1990.01.26
申请人 NIPPON SHEET GLASS CO. LTD. 发明人 OYOSHI, KEIJI, C/O NIPPON SHEET GLASS CO., LTD.
分类号 G02B6/13;C03C21/00;C04B41/80;G02B6/134 主分类号 G02B6/13
代理机构 代理人
主权项
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