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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH02194616(A)
申请公布日期
1990.08.01
申请号
JP19890014707
申请日期
1989.01.24
申请人
FUJITSU LTD
发明人
YASUDA HIROSHI;YAMADA AKIO;SAKAMOTO JUICHI;DAIKYO YOSHIHISA
分类号
H01L21/30;H01L21/027
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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