发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL AND TEMPERATURE MEASURING JIG THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH02192490(A) 申请公布日期 1990.07.30
申请号 JP19880313209 申请日期 1988.12.12
申请人 SHOWA DENKO KK 发明人 SATOU AKINORI
分类号 C30B27/02;G01J5/08;G01J5/12;G01J5/14;H01L21/208 主分类号 C30B27/02
代理机构 代理人
主权项
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