| 发明名称 |
RAW GAS FEEDER FOR PLASMA CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02190473(A) |
申请公布日期 |
1990.07.26 |
| 申请号 |
JP19890010930 |
申请日期 |
1989.01.19 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
KOMURA YUKIO;ISHIDA SADANORI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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