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发明名称 APPEARANCE INSPECTION METHOD
摘要
申请公布号 JPH02190705(A) 申请公布日期 1990.07.26
申请号 JP19890009743 申请日期 1989.01.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOIZUMI YASUHIRO
分类号 G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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