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经营范围
发明名称
PROCESSING OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH02188918(A)
申请公布日期
1990.07.25
申请号
JP19890005935
申请日期
1989.01.17
申请人
HIKARI GIJUTSU KENKYU KAIHATSU KK
发明人
HIDAKA HIROMI;TANETANI MOTOTAKA;SUGIMOTO YOSHIMASA;AKITA KENZO
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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