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发明名称 EKITAIETSUCHINGUYOHANNOKIOYOBIHOHO
摘要
申请公布号 JPH0231873(B2) 申请公布日期 1990.07.17
申请号 JP19840132814 申请日期 1984.06.27
申请人 PII ESU AI SUTAA INC 发明人 JEIMUZU FURANSHISU BATSUTEI
分类号 H01L21/306;C23F1/08;C23F1/46;H05K3/06 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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