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发明名称 DIFFUSION OF IMPURITY INTO SILICON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02178919(A) 申请公布日期 1990.07.11
申请号 JP19880333339 申请日期 1988.12.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TSUBAKI KAZUHIKO;YOKOZAWA NAOMI;NAGURA HIDEAKI
分类号 H01L21/223 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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