发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02177442(A) 申请公布日期 1990.07.10
申请号 JP19880332148 申请日期 1988.12.28
申请人 RICOH CO LTD 发明人 MATSUMOTO FUMINAO
分类号 H01L21/336;H01L21/223;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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