| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SINGLE CRYSTAL THIN FILM AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02177423(A) |
申请公布日期 |
1990.07.10 |
| 申请号 |
JP19880332283 |
申请日期 |
1988.12.28 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
ITOGA TAKASHI;KOBA MASAYOSHI |
| 分类号 |
C30B1/02;H01L21/20;H01L21/263 |
主分类号 |
C30B1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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