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发明名称 HOT WALL EPITAXIAL GROWTH UNIT
摘要
申请公布号 JPH02160692(A) 申请公布日期 1990.06.20
申请号 JP19880315877 申请日期 1988.12.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAWADA AKIRA;NISHIJIMA YOSHITO;EBE KOJI
分类号 C30B23/02;H01L21/208;H01L21/368 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
主权项
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