| 发明名称 |
LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02159719(A) |
申请公布日期 |
1990.06.19 |
| 申请号 |
JP19880315876 |
申请日期 |
1988.12.13 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
WATANABE YOSHIO;TAKIGAWA HIROSHI;SAITO TETSUO;KAWACHI TETSUYA;YAMAMOTO TAMOTSU |
| 分类号 |
C30B19/00;H01L21/208;H01L21/368 |
主分类号 |
C30B19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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