SYSTEM FOR AIRBORNE PARTICLE MEASUREMENT IN A VACUUM

摘要

Appareil (10) de mesure de particules permettant d'obtenir des informations précises relatives à des particules flottant dans l'air dans un gaz sous vide provenant d'une chambre de traitement (12), comprenant une chambre d'échantillonnage (14) pouvant être soumise à un vide (20) très poussé et utilisée pour obtenir un échantillon du gaz se trouvant dans ladite chambre de traitement (12). L'intérieur de ladite chambre d'échantillonnage (14) est d'abord nettoyé à l'aide d'un gaz de purge (30) très propre, puis ouvert sur la chambre à vide de traitement (12) à échantillonner, de sorte qu'un échantillon de l'atmosphère de gaz provenant de ladite chambre à vide de traitement (12) est maintenu dans ladite chambre d'échantillonnage (14). Ladite chambre d'échantillonnage (14) est isolée hermétiquement de ladite chambre de traitement (12) et l'échantillon est amené à la pression atmosphérique par addition d'un gaz purifié exempt de particules. Ledit échantillon est ensuite évacué de ladite chambre d'échantillonnage (14) et passe dans un compteur (40) de particules. On peut ensuite faire des calculs afin de déterminer la concentration particulaire originale dans ladite chambre à vide de traitement (12), basés sur la concentration particulaire mesurée de l'échantillon de la chambre d'échantillonnage (14). Le fait d'actionner une série de vannes (V1 à V6) dans une séquence sélectionnée permet d'obtenir une mesure très précise des particules de l'ordre de 0,01 micron, et on peut utiliser ledit système afin de mesurer des particules se trouvant dans des chambres (12) au-dessous d'environ une atmosphère jusqu'à approximativement 0,001 atmosphère.