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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02152254(A)
申请公布日期
1990.06.12
申请号
JP19880306542
申请日期
1988.12.02
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
ARAKAWA TAKAHIKO
分类号
H01L21/82;H01L27/118
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
地址
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