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发明名称 SELECTIVE VAPOR GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH02148833(A) 申请公布日期 1990.06.07
申请号 JP19880300931 申请日期 1988.11.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SAMATA SHUICHI;MATSUSHITA YOSHIAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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