| 发明名称 |
MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT CONTAINING MOS-TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02144926(A) |
申请公布日期 |
1990.06.04 |
| 申请号 |
JP19880299865 |
申请日期 |
1988.11.28 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
KISHIMOTO MIKIO;KAJITANI ATSUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L21/322;H01L21/82;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
