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发明名称 VISUAL INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02134510(A) 申请公布日期 1990.05.23
申请号 JP19880288634 申请日期 1988.11.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAITO MIKITO
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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