| 发明名称 |
APPEARANCE INSPECTING DEVICE FOR IC |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02130405(A) |
申请公布日期 |
1990.05.18 |
| 申请号 |
JP19880284616 |
申请日期 |
1988.11.10 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
ENOSHIMA SHINJI;SATO HAJIME;MORINAGA KAZUNORI |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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