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发明名称 FORMING METHOD FOR GROOVE
摘要
申请公布号 JPH02125426(A) 申请公布日期 1990.05.14
申请号 JP19880279000 申请日期 1988.11.04
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KASE MASA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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