发明名称 LIGHT-SENSITIVE LAYER THAT INCREASES PHOTORESIST'S CONTRAST
摘要
申请公布号 CS8806922(A1) 申请公布日期 1990.05.14
申请号 CS19880006922 申请日期 1988.10.20
申请人 CIK GABRIEL DOC. CSC.,CS;HALAMOVA KVETOSLAVA ING.,CS 发明人 CIK GABRIEL DOC. CSC.,CS;HALAMOVA KVETOSLAVA ING.,CS
分类号 H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
地址