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发明名称 A METHOD OF INCORPORATING SUBSTITUTIONAL CARBON IN SILICON
摘要
申请公布号 GB9006047(D0) 申请公布日期 1990.05.09
申请号 GB19900006047 申请日期 1990.03.16
申请人 SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE, THE 发明人
分类号 H01L21/265;H01L33/00 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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