发明名称 PRELIMINARILY HEATING EQUIPMENT IN CONTINUOUS PVD INSTALLATION
摘要
申请公布号 JPH02118070(A) 申请公布日期 1990.05.02
申请号 JP19880268315 申请日期 1988.10.26
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 SUZUKI KAZUHIRO;IGUCHI MASAO;KOBAYASHI YASUHIRO;SUZUKI FUMIHITO;NAGAMINE TSUNEO
分类号 C23C14/02;C23C14/56 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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