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发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02104662(A)
申请公布日期
1990.04.17
申请号
JP19880258642
申请日期
1988.10.13
申请人
NEC CORP
发明人
ISHIHARA YOSHITAKE
分类号
C23C14/34;H01L21/203
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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