| 发明名称 |
ELECTRON BEAM RESIST COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02103546(A) |
申请公布日期 |
1990.04.16 |
| 申请号 |
JP19880257743 |
申请日期 |
1988.10.13 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
WATABE KEIJI;SAITO KAZUMASA;SHIBA SHOJI;NAMIKI TAKAHISA;IKEDA NORIKO;OIKAWA AKIRA;FUKUYAMA SHUNICHI |
| 分类号 |
G03F7/075;C08L83/04;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/075 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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