发明名称 ALIGNMENT PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号 JPH02101743(A) 申请公布日期 1990.04.13
申请号 JP19880255265 申请日期 1988.10.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAJIMA MASAYUKI
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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