制备电腐蚀机的加工液用的设备

摘要

一种制备电蚀机加工液用的设备，具有一过滤器(3)，浓缩液流即从浓缩液槽(1)供到该过滤器中，滤透物流从该过滤器中排出。为获取优质的加工液，过滤器系由薄膜过滤器(3)构成，按某一回洗频率进行回洗，该回洗频率是电蚀工艺的一个参数。

主权项

1、一种用过滤器制备电腐蚀机加工液的设备，浓缩液流从浓缩液槽供到过滤器上，渗透的液流则从过滤器排出，该设备的特征在于，所述过滤器是个薄膜过滤器(3)，该过滤器(3)配备有回洗装置(39，43，44，41)，且在回洗过程中用该薄膜过滤器将渗透物从渗透物侧(渗透物出口4)通过薄膜强制送到薄膜过滤器(3)的浓缩液侧，且回洗装置每次是依赖于电蚀工艺的某一参量在过滤时间终了时进行回洗的。