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发明名称
AUTOMATIC LEAK TESTING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0282131(A)
申请公布日期
1990.03.22
申请号
JP19880234371
申请日期
1988.09.19
申请人
ULVAC CORP
发明人
CHIN KOTSUKA
分类号
G01F1/00;G01M3/04;G01M3/20
主分类号
G01F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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