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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0281464(A) 申请公布日期 1990.03.22
申请号 JP19880233316 申请日期 1988.09.17
申请人 ROHM CO LTD 发明人 HIRAI MINORU
分类号 H01L21/60;H01L23/50 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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