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发明名称 ELECTRODE ASSEMBLY AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0261922(A3) 申请公布日期 1990.03.21
申请号 EP19870308362 申请日期 1987.09.21
申请人 NORDIKO LIMITED 发明人 DAVIS, MERVYN HOWARD
分类号 H01L21/302;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/11;(IPC1-7):H01J37/32;H01L21/00;H05H1/16;B01J19/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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