发明名称 Semiconductor device and method of manufacturing thereof
摘要
申请公布号 US4910582(A) 申请公布日期 1990.03.20
申请号 US19890340148 申请日期 1989.04.18
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MIYAMOTO, KEIJI;NAKAMURA, ATSUSHI;SATOH, TSUNEO;KOJIMA, KAZUO;MORITA, MASAYUKI
分类号 G06K19/077;H01L23/498;H01L23/538 主分类号 G06K19/077
代理机构 代理人
主权项
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