发明名称 MASK FOR ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 JPH0279424(A) 申请公布日期 1990.03.20
申请号 JP19880230810 申请日期 1988.09.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MOTONAMI KAORU
分类号 H01L21/266 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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