发明名称 ULTRA-HIGH VACUUM CHAMBER HAVING MEMBER WITH HIGH VOLTAGE APPLIED TO ITS INSIDE
摘要
申请公布号 JPH0275141(A) 申请公布日期 1990.03.14
申请号 JP19880226223 申请日期 1988.09.09
申请人 JEOL LTD 发明人 KASAHARA TAKASHI
分类号 H01J37/16;H01J37/18 主分类号 H01J37/16
代理机构 代理人
主权项
地址