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发明名称 SURFACE TREATMENT AND ITS APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0263118(A) 申请公布日期 1990.03.02
申请号 JP19880215537 申请日期 1988.08.29
申请人 NEC CORP 发明人 IGAWA EIJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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