| 发明名称 |
MANUFACTURE OF OXIDE SUPERCONDUCTING MATERIAL, ION-BEAM SPUTTERING DEVICE, AND ELECTRONIC ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0259403(A) |
申请公布日期 |
1990.02.28 |
| 申请号 |
JP19880210745 |
申请日期 |
1988.08.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KASAI MASAHIRO;ONO TOSHIYUKI;KOZONO YUZO;HANAZONO MASANOBU |
| 分类号 |
C01B13/14;C01G1/00;C01G15/00;C01G29/00;H01B13/00 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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