| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SOI SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0254532(A) |
申请公布日期 |
1990.02.23 |
| 申请号 |
JP19880205429 |
申请日期 |
1988.08.17 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
HASHIMOTO MAKOTO;HAYASHI HISAO;OSHIMA TAKEFUMI |
| 分类号 |
H01L21/314;H01L21/02;H01L21/322;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/314 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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