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经营范围
发明名称
FORMATION OF MULTILAYER INSULATING FILM
摘要
申请公布号
JPH0252430(A)
申请公布日期
1990.02.22
申请号
JP19880202648
申请日期
1988.08.16
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KOTANI KOICHIRO
分类号
H01L21/316
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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