发明名称 LAMINATED INORGANIC-ORGANIC THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0250979(A) 申请公布日期 1990.02.20
申请号 JP19880200656 申请日期 1988.08.11
申请人 RES DEV CORP OF JAPAN 发明人 IWAMOTO MITSUMASA;ABE MASANORI
分类号 C23C28/00;C23C18/12;H01L21/368 主分类号 C23C28/00
代理机构 代理人
主权项
地址