| 发明名称 |
FORMATION OF MULTILAYER INTERCONNECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0246747(A) |
申请公布日期 |
1990.02.16 |
| 申请号 |
JP19880198166 |
申请日期 |
1988.08.09 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
KURIHARA SHINTARO;YAMAGUCHI TOSHIHIRO;NAKAI MASAMITSU |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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