| 发明名称 |
MANUFACTURE AND ETCHING OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0232539(A) |
申请公布日期 |
1990.02.02 |
| 申请号 |
JP19880181612 |
申请日期 |
1988.07.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KURE TOKUO;IZAWA RYUICHI;OKUDAIRA SADAYUKI;TAJI SHINICHI;TSUJIMOTO KAZUNORI;KAWAKAMI HIROSHI;KUME HITOSHI |
| 分类号 |
H01L21/8247;H01L21/302;H01L21/3065;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
