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发明名称 INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0228567(A) 申请公布日期 1990.01.30
申请号 JP19880179861 申请日期 1988.07.19
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 ABE YUICHI
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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