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发明名称 ION INJECTING DEVICE TO WAFER BASE BOARD
摘要
申请公布号 JPH0215547(A) 申请公布日期 1990.01.19
申请号 JP19880164422 申请日期 1988.07.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MORI HARUHISA
分类号 H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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