| 发明名称 |
RADIATION SOURCE OPERATING AT VACUUM ULTRAVIOLET WAVELENGTHS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU592689(B2) |
申请公布日期 |
1990.01.18 |
| 申请号 |
AU19870082796 |
申请日期 |
1987.11.17 |
| 申请人 |
THE AUSTRALIAN NATIONAL UNIVERSITY |
发明人 |
ROBERT OLIVER WATTS;KENNETH GEORGE HERBERT BALDWIN;ROBERT PAUL SWIFT |
| 分类号 |
G01J3/10;(IPC1-7):G01J3/10;H01J61/00;H01J61/16;H01J61/28 |
主分类号 |
G01J3/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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