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发明名称 PLASMA ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH029121(A) 申请公布日期 1990.01.12
申请号 JP19880160314 申请日期 1988.06.28
申请人 TOKUDA SEISAKUSHO LTD 发明人 SHIROSAKI TOMOHIDE
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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