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发明名称 ELEKTRONENSTRAHL-LITHOGRAPHIEGERAET.
摘要
申请公布号 DE3574521(D1) 申请公布日期 1990.01.04
申请号 DE19853574521 申请日期 1985.05.10
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 WARD, RODNEY, REDHILL SURREY RH1 5HA, GB
分类号 H01L21/027;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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