发明名称 |
TRANSFERABLE RADIATION POLYMERIZABLE RESIST |
摘要 |
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申请公布号 |
AU3666089(A) |
申请公布日期 |
1990.01.04 |
申请号 |
AU19890036660 |
申请日期 |
1989.06.20 |
申请人 |
HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
NAME NOT GIVEN |
分类号 |
C23F1/00;G03F7/004;G03F7/027;H01L21/027;H05K3/00;H05K3/06 |
主分类号 |
C23F1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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