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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING MICROMECHANICAL STRUCTURES
摘要
申请公布号 DE3667078(D1) 申请公布日期 1989.12.28
申请号 DE19863667078 申请日期 1986.08.06
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 EHRLER, GUNTER, DIPL.-PHYS.;HAGEN, HEINZ, DIPL.-ING.;BECKER, KLAUS, DIPL.-ING.
分类号 C23F1/02;C25F3/14;(IPC1-7):C25F3/14 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
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